TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



Pico-AFM höchster Präzision für die Nanometrologie und Nanofabrikation


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Maschinenbau
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2020 - 2021
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
145.817,65 €

Abstract:

Hauptziel ist die Fortentwicklung der Rasterkraftmikroskopie für die Nanometrologie und Nanofabrikation durch Weiterentwicklung und Verbesserung von AFM-Lagedetektoren. Ein Lagedetektor zur Erfassung der Cantileverdurchbiegung ist neben einem Scanner bzw. einem Positioniersystem eine wichtigste Baugruppe eines Rasterkraftmikroskops. Somit haben die Genauigkeit, Auflösung und Stabilität des Lagedetektors maßgeblichen Einfluss auf die Messergebnisse des Rasterkraftmikroskops. Entscheidend für die Optimierung von Lagedetektoren sind der systematische Vergleich und die Analyse von unterschiedlichen etablierten und neuen Detektionsverfahren und deren Anordnungen. Besonders wichtige Faktoren sind die Grenzen und Unterschiede im Auflösungsvermögen sowie mögliche Störeinflüssen, wie z.B. Nichtlinearitäten der Kennlinien, Störinterferenzen und Übersprechen. Die gewonnen Erkenntnisse aus dem Projekt ,Grundlagen für die Realisierung von Pico-AFM-Lagedetektoren höchster Präzision für die Nanometrologie und Nanofabrikation" sollen dabei konsequent verwendet und weiter vertieft werden. Die einzigartige metrologische Leistungsfähigkeit der, an der TU Ilmenau im Rahmen des Sonderforschungsbereiches SFB 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) entwickelten, NPM-Maschinen enmöglicht es hochgenaue Untersuchungen und Vergleiche von Rasterkraftmikroskopen und somit deren Lagedetektoren durchzuführen. In eine der NPM-Maschinen wurden an der TU Ilmenau unterschiedliche Tastsysteme, inklusive mehreren AFMs unterschiedlicher Hersteller erfolgreich integriert und getestet.
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