TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



2D und 3D Werkstoff-Morphologien für das reaktive Mikrofü­gen in der Elektronik


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2020 - 2023
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
397.570,00 €

Abstract:

Selbstfortschreitende Reaktionen in metallischen Mehrlagen, besonders solche basierend auf Ni/Al, wurden in den letzten Jahren umfangreich untersucht. Dabei lag der Schwerpunkt auf Nanofolien und gesputterten Schichtsystemen. Die Ausnutzung dieser Reaktionen zum Fügen von elektronischen Chips oder mikromechanischen Bauteilen (MEMS) bietet den Vorteil einer örtlich begrenzten Wärmebelastung. Leider ist die durch lokale Zündung ausgelöste Kettenreaktion schwer zu kontrollieren und die Reaktionsprodukte weisen oft hohe Spannungen auf. Es ist bekannt, dass nanoskalige Krümmungsradien die Oberflächen- und Grenzflächenenergie beeinflussen. Dies kann ausgenutzt werden, um die freie Enthalpie einer Mehrschichtfolge gezielt zu beeinflussen und somit Beschleunigung und Geschwindigkeit der Reaktionsausbreitung zu beeinflussen. Ein zusätzlicher Faktor ist die geänderte Mehrlagenmorphologie durch die Nanostruktur, welche das Fortschreiten der Reaktion ebenfalls beeinflusst. Nanostrukturen aus Silicium und Siliciumoxid werden hier mit vielfältigen Geometrien hergestellt. Beide Materialien unterscheiden sich in ihrer thermischen Leitfähigkeit und sind daher zur Untersuchung verschiedener Szenarien geeignet. Das vorgeschlagene Projekt zielt auf die Identifizierung wesentlicher Merkmale nanostrukturierter Oberflächen.welche das Fortschreiten der Kettenreaktion und den resultierenden Stress in der entstehenden Legierung und Verbindung beeinflussen. Die Geometrie nanostrukturierter Proben wird systematisch auf Basis eines Versuchsplans variiert. Die quantitative Erfassung wesentlicher Geometriekennwerte, z.B. Spitzenradius, Neigungswinkel, Höhe und Strukturdichte liefert dabei eine Richtlinie für das Entwerfen der Mehrlagen-Architektur, die sowohl die Oberflächengestalt als auch den Schichtaufbau berücksichtigt. Deren Einfluss auf die Phasenumwandlung wird durch Tempern untersucht.
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