Projektdaten
Drucksinterofen zur Herstellung von Verbundsubstraten (Drucksinterofen)
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Länder
Zeitraum
2020 - 2021
Drittmittelgeber
Thüringer Ministerium für Wirtschaft, Wissenschaft und Digitale Gesellschaft
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
640.533,00 €
Abstract:
Ziel ist die Beschaffung eines Drucksinterofens für die defektfreie Herstellung neuartiger Verbundsubstrate auf Basis von LTCC und Silizium (SiCer) bzw. LTCC und Glas für die Realisierung hochperformanter Sensoren und elektronischer Komponenten. Die beantragte Anlage stellt eine dringend benötigte Erweiterung zur bereits am technologischen Zentrum des IMN MacroNano® etablierten LTCC- und SiCer-Technologie dar und wird die Forschungsaktivitäten durch neue technologische Ansätze zur Integration von Funktionsstrukturen für mikrosystemtechnische Anwendungen beschleunigen.