Projektdaten

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Machbarkeitsuntersuchung zur galvanischen Platinabscheidung auf Titan und AISi-Schichten mit Gold- bzw. Nickelgoldzwischenschichten zur Erzielung von bionierten Oberflächen

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Auf Basis des vorhandenen Know-hows im Bereich MEMS-Sensorik am Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Erfurt sowie der Expertise im Bereich Galvanik (TU Ilmenau) und der Aufbau- und Verbindungstechnik (CiS) möchte sich das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik der neuen Thematik Platinbeschichtung und Platin-AVT stellen. Ziel dieses Vorlaufprojektes soll die Evaluierung von geeigneten platinbasierten Ausgangsmaterialien sowie der optimierten Beschichtungs- und Fügetechnik sein. Neben materialtechnologischen Untersuchungen zum galvanischen Metallabscheiden (Unterauftrag TU Ilmenau), zum Siebdruck sowie zum Jetten und Dispensen von Platinpasten, sollen für ausgewählte Anwendungs- und Applikationsfälle die Anwendbarkeit demonstriert und nach ausgewählten Gesichtspunkten (inertes Verhalten, Schichthaftung und -dichtheit, Hochtemperaturfähigkeit) bewertet werden. Da Platinschichten sowohl flächig und als auch partiell abgeschieden werden sollen und zum einen als Beschichtungsschicht als auch zum anderen als Bondkontakte dienen sollen, erfolgt die Technologieentwicklung in mehreren Stufen und in unterschiedlichen Technologiebereichen. Die geplante Technologieentwicklung wird sich auf folgende Aspekte beziehen: • Entwicklung von bioinerten Metallschichten auf Basis von Platin als Chipmetallisierung auf Siliziumdrucksensoren • Platin-basierte Fügetechnik • Platin-basiertes Umhüllen/ Auskleiden von Sensorischen Strukturen als Schutzschicht vor aggressiven Flüssigkeiten mit dem Nachweis des inerten Verhaltens anhand von ausgewählten Demonstratoren Diese Technologien sollen zur Realisierung von diversen Demonstratoren angewendet werden.