TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



Design und Fertigung der Strukturmuster als Siliziummaster, Mikrofluidische und biochemische Charakterisierung der Fluidchips - Si-Mikrospritzguss


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2019 - 2021
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Bewilligungssumme, Auftragssumme
189.976,00 €

Abstract:

Im Ergebnis der Entwicklungen soll eine komplette serielle Plattformtechnologie aus Masterherstellung, Werkzeugentwicklung und Fertigung sowie Charakterisierung/Qualitätssicherung mikrofluidischer Strukturen abgebildet werden. Es sollen MFC-Demonstratoren (Master) in verschiedenen Substraten entwickelt und nach fluidischen und biotechnologischen Parametern charakterisiert sowie ein modulares Spritzguss-/Spritzprägewerkzeug entwickelt werden, mit dem von diesem kostengünstig herzustellenden Master MFC-Kleinserien abgeformt werden können. Dabei soll versucht werden, eine Stammform zu entwickeln, in der unterschiedliche strukturierte Wafer oder mit strukturierte Photoresiste als Spritzgussform genutzt werden können. Dies erlaubt die Verwendung von Werkstoffen zur Massenproduktion. Damit kann schon zu einem frühen Zeitpunkt in der Produktentwicklung sehr nah am späteren Endprodukt getestet werden. Hohe Entwicklungskosten in der stark verkürzten FuE-Phase entfallen. Die Reproduzierbarkeit einer hohen Fertigungsqualität und die Sicherung einer umfassenden Anwendungsflexibilität sind Kern der Entwicklungen und kennzeichnen das Innovationsniveau im Vergleich zum Stand der Technik.
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