Projektdaten

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Entwicklung eines Systems zur Gleichstrom-Getteraktivierung mit kompaktem resonantem Vakuum-MEMS-Sensor" (Kurztitel: VAKMES für 14.0)

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Mit dem steigenden Bedarf nach intelligenten u. mehrfunktionalen industriellen Produkten wurde die Miniaturisierung von elektronischen u. mechanischen Komponenten zu immer kleineren Dimensionen angestoßen. Mikromechanische Systeme haben heute ein breites Anwendungsgebiet, bspw. bei der Herstellung von Bolometern und Gyroskopen. Diese müssen in speziellen hermetischen Gehäusen unter Hochvakuum verschlossen werden. Zur Aufrechterhaltung des Vakuums werden sogenannte Gettermaterialien eingesetzt, welche ausgasende Moleküle absorbieren können. Das Ziel des FuE-Projekts der ATV Technologie GmbH u. des Instituts für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau liegt in der Entwicklung eines Systems für die Gleichstrom-Getteraktivierung u. Integration in einen Hochvakuum-Lötofen, sowie in der Entwicklung u. Integration eines resonanten Drucksensors in das Gehäuse zur leistungsarmen, langzeitstabilen, wartungsarmen Drucküberwachung. Es soll ein Gesamtsystem entwickelt werden, das dem Endnutzer sowohl die Möglichkeit zum hermetischen Versiegeln inkl. der Getteraktivierung als auch ein Prozessevaluierungsbausatz für die Produktentwicklung u. Qualitätsüberwachung zur Verfügung stellt.