Projektdaten

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Wachstumskern HIPS-VP 3: Entwicklung multifunktioneller Gas-Sensoren höchster Zuverlässigkeit auf Basis der SiCer-Verbundsubstrat-TechnologieTP 6: SiCer-basierte Messaufnehmer für Anwendungen in der Gassensorik

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Das Teilprojekt beinhaltet die Entwicklung, technologische Umsetzung und Evaluierung von SiCer-basierenden Sensorelementen für die Gassensorik. Konkret sollen drei prototypische Anwendungen für einen Aufbau in der Verbundsubstrattechnologie SiCer zuerst separat voneinander und danach vereint in einem Demonstrator umgesetzt werden. Die Herausforderung im Verbundprojekt liegt in der stark differierenden Spezifik der einzelnen prototypischen Anwendungen Infrarotsensor, Drucksensor und Temperatursensor begründet. In der technologischen Umsetzung des Sensorele-ments sind jeweils unterschiedliche,Prozesse und Prozessfolgen anzuwenden, die sich ggf. gegensei-tig beeinflussen bzw. im Extremfall ausschließen kpnnten (z.B. Hochtemperaturprozesse, die durch Diffusion piezoelektrische Dehnungssensoren wegdriften lassen). Die TU Ilmenau nimmt aufgrund ihrer Vorarbeiten eine zentrale Rolle bei der technologischen Umsetzung der Sensorelemente auf Basis der SiCer-Prozesse ein. Ausgehend von den Spezifikationen, die von den Industriepartnern erarbeitet werden, arbeitet die TUIL in den Arbeitspaketen, die jeweils SiCer-basiert sind (Fokus: Sensorelemente). Aspekte der elektronischen Beschaltung werden durch die Partner im Konsortium abgedeckt.