Projektdaten
Wachstumskern HIPS-VP 2: High-Performance Flüssigkeitssensoren durch SiCer; TP 9: Entwicklung und Aufbau SiCer-basierter, multifunktioneller Sensorsysteme für den Anwendungsbereich "Flüssigkeitssensorik"
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2019 - 2022
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
441.027,52 €
Abstract:
Im Rahmen dieses Verbundprojektes werden mit det SiCer-Technologie (Einsatz von Silizium-Keramik-Verbundsubstraten) neue Sensorsysteme für den Anwendungsbereich „Flüssigkeitssensorik" untersucht. In enger Kooperation mit den beteiligten Projektpartnern werden für die im Verbundprojekt zu entwickelnden Sensoren die anwendungsspezifischen, technologischen Anforderungen abgestimmt und entsprechende Lasten- und Pflichtenhefte für die Entwicklung und Aufbau SiCer-basierter, multifunktioneller Sensorsysteme für den Anwendungsbereich „Flüssigkeitssensorik erarbeitet. Im Ergebnis dessen werden Sensorelemente und die dazugehörige Aufbau- und Verbindungstechnik (elektrisch, fluidisch, thermisch, optisch) durch die TU Ilmenau maßgeblich konzipiert, entworfen und als Funktionsmuster aufgebaut und untersucht. Anschließend wird die prinzipielle Funktionsfähigkeit der Sensorelemente geprüft bevor diese an die Projektpartner für die weitere Systemintegration übergeben werden.