TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



Großgerätebeschaffung: Sputteranlage UNIVEX 600 C


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2019 - 2021
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
500.000,00 €

Abstract:

Bei dem beantragten Gerät handelt es sich um ein leistungsfähiges PVD-System für Forschung und Pilot-Produktionen mit 5 unabhängigen Vakuumkammern. Die Anlage soll zur Deposition von verschiedenen magnetischen und nicht magnetischen Materialien geeignet sein, sowie für reaktive Sputter-Prozesse von Oxid- und Nitrid-Schichten.
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