Projektdaten
Wachstumskern HIPS-VP 1: Erforschung einer multifunktionellen Substrattechnologie (SiCer) für Sensoren höchster Leistung; TP 10: Entwicklung von SICer-Basistechnologien für Anwendungen in der High Performance Sensorik - SiCer-Basistechnologien
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2019 - 2022
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Stichwort
ThürIng
Bewilligungssumme, Auftragssumme
757.548,17 €
Abstract:
Das Teilprojekt beinhaltet die Erforschung, Weiterentwicklung und Evaluierung der SiCer-Plattform im Verbundprojekt 1 mit dem Ziel, neue Materialien und Funktionselemente für hochperformante Sensoranwendungen zu erschließen und die dafür erforderlichen Prozesse, die bislang nur einen sehr geringen technologischen Reifegrad haben, auf ein Niveau zu heben, mit dem die Umsetzungsstrategie der industriellen Verbundprojektpartner nach Ablauf der Förderphase erfüllbar sind. Die TU Ilmenau verfügt im Konsortium über den höchsten Erfahrungsschatz in der Verbundtechnologie SiCer und wird maßgeblich den Technologietransfer an die Substrattechnologiepartner Via electronic GmbH und Micro-Hybrid Electronic GmbH (LTCC) sowie CiS GmbH und 5microns GmbH (Si-MEMS-Bearbeitung) vorantreiben. Darüber hinaus nimmt die TU Ilmenau aufgrund ihrer Vorarbeiten eine zentrale Rolle bei der Weiterentwicklung der SiCer-Prozesse ein. Die Arbeits- und Unterarbeitspakete überspannen alle Ebenen der VP1-Projektstruktur beginnend bei der Materialtechnologie bis hin zu den Demonstratorelementen.