Projektdaten
Scanning-Probe-Nanofabrikationsmaschine
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Maschinenbau
Förderkategorie
Länder
Zeitraum
2018 - 2021
Drittmittelgeber
Thüringer Ministerium für Wirtschaft, Wissenschaft und Digitale Gesellschaft
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
222.000,00 €
Abstract:
Weltweit wird die Nanotechnologie als eine wichtige Schlüsseltechnologie anerkannt. Allein auf Grund der Nanoskaligkeit von Systemkomponenten stehen neue Funktionalitäten zur Verfügung, die zur Entwicklung neuer Produkte oder verbesserten Produkteigenschaften führen können. Die Next-Generation-Lithographie (EUV, Röntgen, e-beam) steht nach wie vor vor technischen Herausforderungen und führt derzeit zu sehr hohen Anlagenkosten. Dadurch treten alternative Lithographie-Verfahren auf den Plan, die in der Lage sind, Sub-10nm-Features zu strukturieren. Hier gewinnt die Nanopositionier- und Nanomesstechnik einen enormen Stellenwert. Im Rahmen von Projekten der Grundlagenforschung wurde die Machbarkeit der Kombination von hochlokalisierender Scanning-Probe-Nanostrukturierung mit skalenübergreifender Nanopositionier- und Nanomesstechnik erfolgreich gezeigt. Das Ziel des vorliegenden Vorhabens besteht deshalb darin, auf dieser Basis eine neue Klasse von Scanning-Probe-Nanonofabrikationsaschinen zur universellen Anwendung in der Nanostrukturierung, insbesondere von Wafern und Masken zu realisieren. Derartige Maschinen als Endprodukt sollen Anwender in die Lage versetzen, skalenübergreifende Nanostrukturierung mit ungekannter Präzision zu ermöglichen, um somit neuartige, flexible und universelle Bauelemente, auch in kleinen Stückzahlen, realisieren zu können. Damit wird qualitativ und quantitativ ein neues Feld alternativer Nanolithografie eröffnet.