TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



Approaching Gas Phase Electrodeposition: Process and Optimization to Enable the Self-Aligned Growth of 3D nano-Bridge-Based Interconnects


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Stiftungen
Zeitraum
2015 - 2016
Drittmittelgeber
ELSTATIK-Stiftung
Bewilligungssumme, Auftragssumme
6.000,00 €

Abstract:

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