Projektdaten
Approaching Gas Phase Electrodeposition: Process and Optimization to Enable the Self-Aligned Growth of 3D nano-Bridge-Based Interconnects
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Stiftungen
Zeitraum
2015 - 2016
Drittmittelgeber
ELSTATIK-Stiftung
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
6.000,00 €
Abstract: