TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



SiCer-Technologie für HF-MEMS


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2015 - 2018
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
394.100,00 €

Abstract:

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