Projektdaten
HF-MEMS-Bauelemente, M-Systeme und Hybridintegration (TP C1)
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2015 - 2018
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
394.100,00 €
Abstract: