Projektdaten
Forschung und Entwicklung eines Nanostrukturdepositionsverfahrens
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2013 - 2016
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
350.910,00 €
Abstract: