TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



Forschung und Entwicklung eines Nanostrukturdepositionsverfahrens


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2013 - 2016
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
350.910,00 €

Abstract:

Projektsuche | Impressum | FAQ