Projektdaten
Miniaturiesierte komplex integrierte Mikrosensorik in dreidimensionalen funktionalisierten LTCC Modulen
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2015 - 2018
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
416.201,00 €
Abstract: