Projektdaten
ZIK-NWG: Dreidimensionale Nanostrukturierung zur Realisierung von Hochleistungs-Nano-Bauelementen
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2012 - 2016
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
2.676.372,00 €
Abstract: