TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



Design- und Verfahrensentwicklung zur CMOS-technologiekompatiblen-Prozessierung eines hochsensitiven langzeitstabilen Cantileversensors zur Erfassung des Massenflusses einer Gasströmung


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2014 - 2016
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Bewilligungssumme, Auftragssumme
175.000,00 €

Abstract:

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