Projektdaten
Design- und Verfahrensentwicklung zur CMOS-technologiekompatiblen-Prozessierung eines hochsensitiven langzeitstabilen Cantileversensors zur Erfassung des Massenflusses einer Gasströmung
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2014 - 2016
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
175.000,00 €
Abstract: