Projektdaten
Hocheffiziente, prozesskompatible Nanostruktur-Absorber für Pyrometer
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2015 - 2018
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
190.000,00 €
Abstract:
Die Messgröße „Temperatur" stellt einen der wichtigsten Prozessparameter in der industriellen Produktion dar. In praktisch allen Verfahren ist die genaue Kenntnis der Umgebungs- und Objekttemperatur bzw. deren Kontrolle die Voraussetzung für hochqualitative Herstellungsprozesse. Dabei hat sich die berührungslose Temperaturmessung mittels Strahlungsthermometrie als Standard-Verfahren etabliert, da es deutliche Anwendungsvorteile gegenüber berührenden Temperatur-Messverfahren gibt. Ziel des Projektes PyTOM ist es, einen maßgeschneiderten Infrarotsensor in Verbindung mit einer innovativen Mikrooptik für den Einsatz in hand-held und Mikropyrometer im industriellen Umfeld zu entwickeln. Durch den Einsatz der innovativer Oberflächen-Mikromechanik sollen dabei die Vorteile thermoelektrischer Sensoren (aktive Signalerzeugung, hohe Linearität, Driftfreiheit) bei deutlich reduzierter Pixelgröße erreicht werden. Dadurch wird die Realisierung eines Pyrometermoduls mit einer hohen Temperaturauflösung (NETD,; 30 mK) bei einem deutlich vergrößerten Distanz-Spot-Verhältnis (D:S » 100) möglich. Dies stellt einen signifikanten Entwicklungssprung bei Pyrometergeräten dar.