Projektdaten

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Integriertes 6DOF-Sensorsystem mit Online-Korrektur

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Ziel des Projektes ist die Entwicklung eines technologisch neuartigen aerostatisch geführten planaren elektrodynamischen 6DOF-Antriebssystems mit integrierter laserinterferometerischer 6DOF-Positionserfassung und Regelung zur hochgenauen Vermessung von großflächigen Objekten mit geringer vertikaler Ausdehnung. Die erwarteten exzellenten dynamischen und schwingungstechnischen Eigenschaften des Antriebssystems begründen sich darin, dass in diesem Konzept alle Aktorelemente direkt an einem zu bewegenden planaren Läufer angreifen, wobei das Gewicht des zu bewegenden Objektes quasi leistungslos kompensiert wird. Die Krafteinleitung in allen Achsen erfolgt berührungslos. Alle Führungen des Konzepts arbeiten aerostatisch, d.h. quasi reibungsfrei, was für eine nanometerpräzise Positionierung essentielle Voraussetzung ist. Für das neuartige interferometrische 6DOF­Messsystem soll u.a. der Ansatz verfolgt werden, die in den Quarzläufer integrierten Spiegelflächen so ökonomisch wie möglich zu fertigen und nachfolgend mit geeigneten Methoden zu vermessen. Die so gewonnenen Ebenheits­und Orthogonalitätsabweichungen werden anschließend im Regelkreis online korrigiert.