Projektdaten

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3D-Korrektur und Datenfusion

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Schwerpunkt des Projektes ist die Entwicklung und Herstellung eines Demonstrators, der in der Lage ist, bei gleicher Prüfzeit eine Fläche mit deutlich erhöhter optischer Auflösung automatisiert zu inspizieren und die aufgenommenen Bilddaten partiell autonom verarbeiten zu können. Hierfür wird ein High-Speed-Spezialkamerasystem umgesetzt. Mit einer nachgeschalteten Auswerteeinheit wird anschließend selbstständig ein Prüfergebnis berechnet. Eine hochgenaue zeitliche Synchronisation sowohl zwischen den einzelnen Kamerasystemen als auch zwischen Bewegungssystemen und Kameraverbund ist elementares Projektziel. Als Parameter soll hierbei eine Auflösung von bis zu 10µm in Scanrichtung bei 1m Abtastbreite erreicht werden. Zielapplikation ist das Finden von Markern, für die geometrische Ausrichtung der einzelnen Schichten von Mehrlagenleiterplatten. In Abhängigkeit der messtechnischen Basis werden aktuell bis zu 1µm Ortsauflösung der Referenzmarken gefordert. Als Basis für die hohen messtechnischen Anforderungen sollen Korrekturmodelle entwickelt werden, die eine Entzerrung des höhenabhängigen Messfehlers bei der Nutzung endozentrischer Objektive ermöglichen.