Projektdaten

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Integriertes Sensorsystem für aerostatisches Führungselement sowie dessen Funktionsnachweis

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Ziel des Projektes ist die Entwicklung von technologisch neuartigen aerostatischen Führungselementen mit integriertem Aktorelement als Höhenausgleich bzw. Vertikalantrieb, mit leistungsloser pneumatischer Gewichtskraftkompensation und aktiver Regelbarkeit mit Nanometer-Präzision. Damit erübrigt sich die Notwendigkeit von Sub-Mikrometer-ebenen Führungsbahnen für Ultrapräzisionsantriebe. Die zu integrierende Aktorik und Sensorik zeichnet sich durch sehr hohe Kompaktheit bei gleichzeitig geringster Leistungsaufnahme aus. Die integrierte pneumatische Gewichtskraftkompensation mit reibungsfreier Abdichtung ermöglicht geringste Verlustleistungen beim Stellen hoher Lasten. Der Funktionsnachweis der Aktor-Führungs-Elemente erfolgt an einem Demonstratoraufbau in Form eines geregelten 6D-Präzisionsantriebssystems mit fasergekoppelter 3D- Heterodyn-Planspiegelinterferometrie zur Minimierung des Wärmeeintrages in den Messaufbau bei gleichzeitig höchster Messlinearität im Sub-Nanometerbereich.