Projektdaten

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Herstellung von mikromechanischen Schwingungselementen in Zerodur

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Bei Uhrwerken werden vielfach Temperaturkompensationen durch magnetostriktiven Schwingungssysteme realisiert, welches sich durch äußere Magnetfelder beeinflussen lässt und somit direkte Auswirkungen auf die Ganggenauigkeit hat. Eine Möglichkeit diese Schwachstelle zu umgehen, stellt der Einsatz von Nullausdeh­nungskeramik dar. Hierbei wird keine Temperaturkompensation mehr benötigt. Für die Herstellung eines Schwingsystems aus Zerodur, einer Nullausdehnungskeramik des Herstellers Schott, werden filigrane und hochpräzise Elemente benötigt. An den Herstellungsprozess sind somit Anforderungen wie eine hohe Maßhaltigkeit, senkrechte vertikale Wände, geringe Rauigkeiten und eine hohe Stabilität gefordert. Plasmaätzverfahren bieten die Möglichkeit, parallel mehrere Strukturen auf einem Wafer zu prozessieren und für eine schnellere, effizientere und kostengünstiger Umsetzung zu sorgen. Ziel ist es, einen Herstellungsprozess zu entwickeln, der die Anforderungen erfüllt und somit ein genaues Schwingungssystem erreichen kann.