TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



1D-basierte Sensoren für Gase und Magnetfelder -1D-SENSE


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2014 - 2017
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Bewilligungssumme, Auftragssumme
363.150,00 €

Abstract:

Ziel ist es, im Rahmen von 1D-Elektroniksystemen auf Wafer-Level neuartige 1D-basierte Sensoren mit verbesserter Leistungsfähigkeit zu integrieren. Dazu werden neuartige Verfahren zur Erzeugung und Integration von eindimensionalen Nanostrukturen in dreidimensionaler Anordnung für hochspezifische Gassensoren erforscht und erste Sensormuster erprobt. Insbesondere die hochempfindliche Detektion von Gasen steht dabei im Vordergrund, die durch 1D-Feldemitter besonders effizient gelingt.
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