Projektdaten

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Neuartiges Verfahren zur Modifikation der Brechzahl / Dichte der Luft in einer Messkammer

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Der Trend einer immer weiter fortschreitenden Miniaturisierung, vor allem in der Halbleiterindustrie, bedingt die Notwendigkeit von hochstabilen dimensionellen Messungen bis hinunter in den atomaren Bereich. Für Messaufgaben mit höchsten Anforderungen an Auflösung und Messunsicherheit sind heute präzisionsoptische Messverfahren das Mittel der Wahl. Diese Längenmesssysteme benötigen für akkurate Ergebnisse eine stabile Brechzahl des Mediums, in dem die Messung stattfindet. Diese wiederum wird bei Messungen unter atmosphärischen Bedingungen bestimmt durch den Luftdruck, die Lufttemperatur, die Luftfeuchtigkeit und die konkrete Gaszusammensetzung (insbesondere C02-Gehalt). Insbesondere während Langzeitmessungen besteht daher die Möglichkeit, dass die Brechzahl enormen Schwankungen unterliegt, was relevante Messabweichungen zur Folge hat. Präzisionsmessungen werden daher üblicherweise in klimatisierten Laboren, in einer abgeschlossenen Messkammer unter Vakuumbedingungen durchgeführt. Dadurch werden Brechzahlschwankungen zwar reduziert aber nicht vollständig eliminiert. Ferner sind nicht alle Messungen für diese Umgebungsbedingungen geeignet. Ziel dieses Projektes ist daher, die Brechzahl unter atmosphärischen Bedingungen während Langzeitmessungen durch eine aktive Beeinflussung stabil zu halten und damit die Messunsicherheit auf ein bisher nicht mögliches Maß zu minimieren. Dazu soll ein Verfahren entwickelt werden, mit dem in einer abgeschlossenen Kammer mit der darin befindlichen Messanordnung der atmosphärische Luftdruck in der Art geregelt wird, dass eine konstante Luftbrechzahl erreicht wird.