Projektdaten
Elektrochemische Untersuchungen zu den Wirkungsmechanismen von Additiven bei der galvanischen Aluminiumabscheidung
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2024 - 2026
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
215.101,00 €
Abstract:
Der Fokus dieses Forschungsprojekts liegt auf der Entwicklung optimierter Elektrolyt-Formulierungen für die galvanische Aluminiumabscheidung aus ionischen Flüssigkeiten für die Halbleitertechnik. Das Arbeitsprogramm adressiert alle benötigten Aspekte für die Anwendung der Technologie. Dies umfasst die Erforschung von Additiven zur gleichmäßigen Abscheidung auf strukturierten Halbleitersubstraten, die Skalierung der Herstellung und die Optimierung des Abscheideprozesses hinsichtlich Kinetik, Schichtmorphologie und Homogenität. Analysemethoden für die abgeschiedenen Schichten und für die Elektrolyte sowie eine Kleinanlage zur Abscheidung in wasserfreier Atmosphäre sind zu entwickeln. Handlungshilfen zur Elektrolytanalyse, -aufreinigung und Nachdosierung von Komponenten werden erarbeitet. Die Ergebnisse des Projekts werden für Forschungseinrichtungen und Unternehmen einen vereinfachten Einstieg in die Technologie ermöglichen.