Projektdaten

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Nanoskalige Elektronenstrahl-induzierte Abscheidung aus der Gasphase mit Rastersonden für hochgradig lokalisierte 3D-Materialabscheidung

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Leistungsfähige Strukturierungsverfahren zur präzisen Erzeugung von funktionellen 3D Nanostrukturen sind für die Herstellung neuartiger Mikro- und Nanosensoren bis hin zur Realisierung der zweiten Quantenrevolution von elementarer Bedeutung. Im Forschungsvorhaben werden die grundlegenden Mechanismen einer rastersondenbasierten, elektronenstrahlinduzierten 3D Gasphasen-Materialabscheidung als auch die damit verbundenen technologischen Anforderungen und Einschränkungen aufgeklärt. Hierdurch soll zum einen das Potential dieser Technologie in Richtung 3D-Nanomaterialsynthese und Aufbau nanoelektromechanischer Systeme evaluiert, als auch eine künftige Implementierung und Weiterentwicklung diskutiert werden können. Basierend auf Experimenten zur lokalen 3D-Abscheidung von Kohlenstoffnanostrukturen sollen die grundlegenden Einflussparameter identifiziert und erforscht werden, die für eine kontrollierte und reproduzierbare 3D-Abscheidung relevant sind.