Projektdaten
UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung & motorisierter Stage m. Autoalignmentfunktion
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Länder
Zeitraum
2023 - 2025
Drittmittelgeber
Thüringer Ministerium für Wirtschaft, Wissenschaft und Digitale Gesellschaft
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
474.300,00 €
Abstract:
Lithografieprozesse zur Herstellung von Prozessmaskierungen aus Fotolacken (Resisten) sind qualitätsbestimmende Bestandteile von Prozessketten zur Herstellung mikro- und nanotechnischer Funktionsstrukturen, Bauelemente und Systeme. Das UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung & motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion ermöglicht die technologische Realisierung von 2,5- und 3-dimensionalen Mikro- und Nanostrukturen schwerpunktmäßig für die Forschungsfelder Mikrooptik, (grüne) Mikroelektronik, Mikrofluidik, Mikroaktorik, Mikrosensorik und Systemintegration.