Projektdaten

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Nebenwirkungsarme Feinstellsysteme für Ultrapräzisionsgeräte in hermetisch abgeschlossenen Räumen

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Eine ausführliche Analyse des aktuellen Stands der Forschung zeigte, dass in keiner der vorausgegangenen Arbeiten eine übergreifende systematische Betrachtung der Störwirkungen sowie der Störempfindlichkeiten von Feinstellsystemen durchgeführt wurde. Die wechselseitigen Nebenwirkungen aller Teilgruppen eines Präzisionsgeräts inklusive des Feinstellsystems begrenzen die Güte der Feinstellung. Die erreichbare Präzision des Geräts wird dadurch beschränkt. Hieraus ergibt sich der Forschungsbedarf, die komplexen Wechselwirkungen von Feinstellsystemen zu untersuchen, sowie die Störwirkungen und die Störempfindlichkeiten schon in frühen Phasen des Entwicklungsprozesses gezielt zu vermeiden oder zumindest stark zu reduzieren. Damit werden notwendige Voraussetzungen für die Entwicklung neuer domänenübergreifender Syntheseansätze sowie darauf basierend, von neuartigen Feinstellsystemen geschaffen, die eine signifikante Steigerung der Leistungsfähigkeit von Präzisionsgeräten ermöglichen. Aus diesen Gründen bestehen die Ziele darin: eine genauere Kenntnis über die komplexen Störwirkungen ausgewählter Feinstellsystemen zu erlangen eine Vermeidung oder starke Reduzierung der Störwirkungen und eine gleichzeitige Reduzierung der Störempfindlichkeiten zu bewirken neuartige, störungsarme und störunempfindliche Feinstellsysteme zu konzipieren, zu entwickeln und zu erproben, domänenübergreifende Synthesemethoden zu entwerfen und umzusetzen, allgemeingültige Richtlinien für die (top down) Entwicklung störungsarmer und störunempfindlicher Stellsysteme zu extrahieren.