Projektdaten

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KONPOSCAN: Entwicklung der Elektromechanik und Steuerung/Regelung für den konjungierten Nano-Positionier-Scanner

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Ziel des Projektes ist die Entwicklung eines neuartigen Nano-Positionier-Scanners mit Messsondenkopf und dessen Systemintegration in ein Rasterkraftmikroskop (RKM). Damit soll es möglich sein, große Probenoberflächen wesentlich schneller zu untersuchen als mit derzeitigen kommerziellen RKM. Es werden drei innovative Ansätze vorgeschlagen. Zum einen ein neues Verfahren zum konjungierten Positionieren und Scannen ohne Absetzen und wieder Aufsetzen der Messsonde auf die Probenoberfläche, zweitens ein schneller Scanner mit kleinem Scanfeld aber hoher Positionsauflösung, welcher mit einem kommerziellen Positionierer mit großem Positionierfeld aber niedrigerer Positionsauflösung kombiniert wird. Der schnelle Scanner soll in allen drei Achsen wesentlich schneller scannen können als auf dem Markt angebotene piezoelektrische Nanopositioniere.r Dazu werden steife, parallelgeführte Mechanismen für die x-y-z-Achsen genutzt und die z­ Achse ist zudem mit einem seismischen Massenausgleich versehen, um die Störschwingungen in die x-y-Achsen zu minimieren. Drittens eine schnelle, aktive Messsonde mit der schnelle Scanbewegungen besser durchführbar sind, da keine Optikeinheit mitgeführt werden muss.