Projektdaten

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Dynamikmodell und differentielle Regelung piezoelektrischer Scanner

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Rasterröntgenmikroskope benötigen externe Synchrotronstrahlungsquellen zur Erzeugung der Röntgenstrahlen. Neue Synchrotronstrahlungsquellen haben eine deutlich höhere Brillanz, erfordern aber für ihre Nutzung in den Mikroskopen einen schnelleren und wesentlich genaueren Scanbetrieb beim Abscannen von Proben mit den Röntgenstrahlen. Um dies zu erreichen werden neue mechatronische Technologien benötigt. Die Metrologie und Messtechnik für Kraft und Position ist mit verschiedenen Verfahren zu erweitern, der Metrologierahmen des Grundsystems ist auf Schwingungsarmut zu entwerfen. Die Aktuatorik, bestehend aus piezoelektrischen Nanopositionierern bzw. Scannern, wird erweitert. Schließlich ist eine neuartige Regelung für den Scanbetrieb zu entwerfen, welche die komplexe Dynamik des RRM berücksichtigt, um die hohen Anforderungen an das Führungsverhalten zu erreichen und die Störungseinflüsse soweit es geht zu verringern.