Projektdaten
SiCer-Substrate für MEMS-Radarsensoren
Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Bund
Zeitraum
2022 - 2025
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Stichwort
Bewilligungssumme, Auftragssumme
575.945,45 €
Abstract:
Autonom agierende Anlagen, Flugkörper und Fahrzeuge werden wesen,tlich die industrielle Produktion, Logistik und Mobilität der Zukunft prägen. Um ein Höchstmaß an Sicherheit gewährleisten zu können: müssen sich solche autonomen Systeme jederzeit in ihrer Umgebung mittels raumerfassender Sensorik orientieren können. Im Projekt soll die Lücke hinsichtlich Entfernungsauflösung und Störsicherheit gegenüber Umweltbedingungen durch Kombination von hochpräziser Radar- und miniaturisierter Strahlschwenktechnologie geschlossen werden. Um eine den optischen Systemen entsprechende Auflösung erreichen zu können, werden die klassischen mm-Wellen-Frequenzen, welche von aktuellen kommerziellen Radar-Systemen verwendet werden, verlassen und in den. Bereich der Tera-Hertzanwendur;ig gegangen (>0.1 THz). Durch diesen Schritt steht mehr Bandbreite zur Verfügung, welche essentiell für die höhere Auflösung ist. Erste Radar-Transceiver Module für diese Bereiche (122 GHz; 220 GHz) erreichen aktuell den Markt. Diese hochauflösenden Radarsensoren können durch eine schnelle rasternde Bewegung zu raumerfassender Sensorik erweitert werden. Diese mechanische Bewegung, wird über eine MEMS-Antennen-Architektur erreicht, welche ähnlich auch bei LI DAR-Anwendung (dabei wäre es ein MEMS-Spiegel) zu finden ist. Diese MEMS-aktuierten Antennen werden über ein neuartiges Silizium-L TCC-Verbundsubstrat (SiCer) realisiert, das mechanische Aktoren auf Silizium und Mikrowellen-Funktionalitäten in der 1L TCC in besonderer Weise vereint. Ziel des Projekts MEMS-Radar ist es, die einzelnen bei den Partnern etablierten Technologiemodule (schwenkbare MEMS-Strukturen - TUI/UB, Radar-Signalauswertung - FHR, Design und Aufbau von Ultra-Hochfrequenzsystemen - TUB) für kostengünstige, miniaturisierte und raumauflösende (und damit auch bildgebende) Radar-Sensoren für relevante Marktsegmente zu kombinieren (autonomes Fahren, zivile Sicherheitsanwendung), gemeinsam zu validieren und in einen Demonstrator umzusetzen.