Projektdaten

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Promotionsstipendium für Herrn Mingshuai Su: Entwicklung von Mikrointerferometern auf Basis von Batchprozessen

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Interferometrische Messverfahren haben sich in der industriellen Mess- und Kalibriertechnik sowie in der Präzisionsfertigung von optischen Bauteilen oder Halbleiterbauelementen etabliert. Ihr Einsatz ist oft jedoch auf Grund der Baugröße von konventionellen Interferometersystemen begrenzt. Weiterhin stellen sie noch immer preisintensive, manuell gefertigte Präzisionsbaugruppen dar, deren Einsatz ökonomisch nur für Nischenanwendungen in der Hochtechnologie gerechtfertigt ist. Um interferometrische Messsysteme auch in Anwendungen nutzbar zu machen, in denen strikte Anforderungen hinsichtlich der Baugröße herrschen, sowie zur Realisierung einer kostengünstigen Fertigung sind weitere grundlegende wissenschaftliche Untersuchungen erforderlich. Derzeitige Miniaturisierungsansätze arbeiten auf Basis von Fabry-Perot-Interferometern, deren messtechnische Parameter (Nichtlinearitäten, Stabilität der Wellenlänge, Auflösung usw.) jedoch nicht mit einem klassischen Michelson-Ansatz, wie er im Promotionsprojekt angestrebt wird, konkurrieren können. Mit dem in der Promotionsarbeit zu untersuchenden neuen Ansatz sollen durch die Entwicklung von neuen optischen Aufbau- und Verbindungstechniken, der Nutzung von waferbasierten Batch-Prozessen zur Herstellung optischer Bauteile sowie neuen Verfahren zur Auswertung der Interferenzinformationen die Abmessungen und der Herstellungs- und Montageaufwand von Michelson-Interferometern deutlich reduziert werden. Die Ergebnisse der Untersuchungen sollen in die Entwicklung eines messtechnisch hoch leistungsfähigen und industrietauglichen Messsystems zur Präzisionslängen- und Winkelmessung münden, für das derzeit ein akuter Entwicklungsbedarf besteht.