TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



GRK 2182/2: Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Maschinenbau
Förderkategorie
DFG
Zeitraum
2021 - 2026
Drittmittelgeber
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
7.413.578,00 €

Abstract:

Neben der stetigen Weiterentwicklung der optischen Lithographie treten immer mehr alternative Nanofabrikationstechnologien auf den Plan. Im Graduiertenkolleg GRK 2182 wird seit 2017 an der Erarbeitung der wissenschaftlich-technischen Grundlagen zur systematischen und konsequenten Anwendung von präzisionstechnischen und präzisionsmesstechnischen Strategien und Ansätzen auf Nanofabrikations­ prozesse erfolgreich verfolgt. Methodisch geht es dabei um die synergetische Verbindung leistungsfähigster AFM-Spitzen- und Laser­ basierter Nanofabrikationstechnologien mit hochpräziser, skalenübergreifender 30-Nanopositionier- und Nanomesstechnik. Die während der ersten Förderperiode in den Projektbereichen A - spitzenbasierte Nanofabrikation, B - laserbasierte Nanofabrikation und C - Nanofabrikation auf Freiformflächen unter Einbeziehung der Querschnittsthemen Theorie und Metrologie, Tools und Parallelisierung und Kinematik und Regelung gelegten wissenschaftlich-technischen Grundlagen haben ihr Potenzial unter Beweis gestellt und sollen konsequent fortgesetzt werden. Neue Akzente sind beispielsweise durch die neue 100 mm-Nanofabrikations-Plattform gegeben, um die Single Nano-digit Lithogra­ phie weiterzuentwickeln. Innerhalb der zweiten Förderperiode sollen weitere neue Nanofabrikationstechniken, z.B. spezielle additive Verfahren und Nanomanipulationstechniken, hinsichtlich ihres Potenzials untersucht werden, die in Kombination mit der NPM-Technik neue Möglichkeiten eröffnen. Ein größerer Fokus soll auf die direkte Verbindung von Nanofabrikation und Nanomesstechnik, beispielsweise die Iteration von Fertigung und Messung oder die Realisierung neuer hochpräziser lokalisierter Reparaturverfahren, gelegt werden. Zusätzlich soll verstärkt auf neue, innovative Applikationen orientiert werden, die sich aus den gewachsenen Möglichkeiten der Nanofabrikation ergeben.
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