TU Ilmenau Humbold Bau

Projektdaten



RSML-Workstation (Rastersondenmikroskopie- und Lithographie-Workstation)


Hochschule
TU Ilmenau
Fakultät/Einrichtung
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Förderkategorie
Länder
Zeitraum
2021 - 2023
Drittmittelgeber
Thüringer Ministerium für Wirtschaft, Wissenschaft und Digitale Gesellschaft
Bewilligungssumme, Auftragssumme
369.612,39 €

Abstract:

Im Graduiertenkolleg NanoFab wird seit 2017 erfolgreich an den Grundlagen zur systematischen Anwendung von Präzisionsstrategien auf Nanofabrikationsprozesse gearbeitet. Hier werden neue Nanofabrikationstechniken, z.B. spezielle additive Verfahren und Nanomanipulationstechniken, auf ihr Potenzial untersucht. Mittels des beantragten Gerätes können die bisherigen Grenzen der Strukturierung bis in den atomaren Bereich verschoben werden. Ziel ist auch das Vordringen in Bereiche und Applikationen der Quantentechnologie (z.B. Einzelelktronentransitoren).
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